一、單晶矽的(de)製(zhì)法通常是先(xiān)製得多晶矽或無定形矽,然後(hòu)用直拉(lā)法或懸浮區熔(róng)法從熔體中生長出棒狀單晶矽。熔融的單質矽在凝固時矽原子以金剛石晶格排列成(chéng)許多晶核,如果這些晶核長成晶麵取(qǔ)向相同的晶粒,則這些(xiē)晶粒平行結合起來便(biàn)結晶成單晶矽。
單晶矽圓片按其直徑分為6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(cùn)(450毫米)等。直(zhí)徑越大的圓片,所能刻製的集成電(diàn)路(lù)越多,芯片的成(chéng)本也就越(yuè)低(dī)。但大尺寸晶片對材料和技術(shù)的要求也越高。單晶矽按晶體生長方法的不同,分為直拉法(CZ)、區熔法(FZ)和外延(yán)法。直拉(lā)法、區熔法生長單晶矽棒材,外延法生長單晶矽薄膜。直拉法生長的單晶矽(guī)主要用於半導體集(jí)成電路、二極管、外延片襯底、太陽能(néng)電池。目前晶體直徑可(kě)控製在Φ3~8英寸。區熔(róng)法(fǎ)單(dān)晶主要用於高壓大功率可控整流器件領域,廣泛用於大功率輸(shū)變電、電力機(jī)車、整流(liú)、變頻、機電一體化、節能燈、電視機等(děng)係列產(chǎn)品。目前晶體直徑可控製在Φ3~6英(yīng)寸(cùn)。外延片主要用於集(jí)成(chéng)電路(lù)領域(yù)。
單晶矽也稱矽單晶,是電子(zǐ)信息材料中最基礎性(xìng)材料,屬半導(dǎo)體材料類。單晶(jīng)矽已滲透到國民經濟和國防科技中各個領域,當今全球超過2000億美元的電子通信(xìn)半導(dǎo)體市場中95%以上的半導體器件(jiàn)及99%以上的集成電路用(yòng)矽。
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